在半导造领域中,芯片封装是一项至关重要的工艺,它涉及到芯片的布局、固定以及连接等步骤,最终形成一个立体结构的封装体。以下是关于芯片封装工艺的详细说明。
封装流程:
1. 减薄技术:
晶圆减薄是经过精确研磨至特定厚度的一道工艺。在某些情况下,晶圆在制造初期就已经进行了减薄处理,因此封装企业无需再次进行此操作。
2. 晶圆贴膜与切割:
此步骤的主要目的是将晶圆上的晶粒切割分离,以便后续操作。在切割前,晶圆会贴附于胶膜上,胶膜能够固定晶粒,确保在切割过程中不会因受力不均而影响品质。切割过程主要依赖高速旋转的刀具和精密的视觉定位系统。
3. 粘片固化工艺:
粘片固化是通过粘合剂将单个晶粒固定在引线框架的指定位置上,这有助于后续的互连操作。在塑料封装中,常用的方法为利用聚合物黏结剂粘贴到金属框架上。
后续工艺详解:
4. 互连技术:
互连技术将芯片的焊区与封装的外引脚相连接。常见的连接方法包括引线键合、载带自动焊和倒装芯片等。
5. 塑封固化过程:
通过使用环氧树脂等塑封材料,将互连好的芯片进行包封固化。
6. 切筋与打弯操作:
切筋是切除框架外引脚之间的连接部分,而打弯则是将引脚弯成特定形状以适应装配需求。
7. 引线电镀步骤:
此步骤是在框架引脚上实施保护性镀层,旨在提高其抗蚀性和可焊性。电镀过程通常在流水线式的电镀槽中完成,包括清洗、电镀和干燥等环节。
其他相关工艺:
8. 打码标识:
在封装模块的顶部印制不可磨灭的字母和标识,包括制造商信息、代码和器件信息等,便于识别和追踪。
9. 质量检测与测试:
该环节涵盖了一般的目视检查、电气性能测试和老化试验等,以确保产品质量符合标准。
最终包装环节:
10. 包装流程:
针对连续的生产流程,元件的包装应适应于自动贴片机的拾取与装配需求,从而便于实现高效的自动化组装过程。