无疑,我们正身处信息技术飞速发展的时代。随着微电子工业的迅速进步,氮化铝陶瓷基板在超大规模集成电路制造中得到了广泛应用。这种高导热陶瓷基板和封装材料因其出色的性能而备受关注。
关于dpc陶瓷基板
不可否认,氮化铝(AlN)具有诸多优势,其热导率是广泛使用的氧化铝陶瓷的7倍。它还具有低介电常数、优良的电性能、与硅相近的热膨胀率、高比强度、低密度以及无毒等特点。使用氮化铝陶瓷基板的电子元件的轻量化令人瞩目。任何事物都有其两面性,氮化铝陶瓷基板目前面临的一个主要问题是成本过高,这在一定程度上限制了其推广应用。
那么,这些成本源于何处呢?如前所述,AlN的导热性能非常出色(理论上可达320W/m-k)。但实际生产中,由于氮化铝陶瓷中的杂质和缺陷,导致其导热系数与理论值存在差距。为了尽可能接近理论热导率并发挥氮化铝的优势,制造商在衬备过程中需严格把控,避免出现性能缺陷。这自然导致了生产成本的增加。
一、氮化铝粉末的制备
氮化铝粉末是制备最终陶瓷产品的原材料。其纯度、粒度、氧含量及其他杂质含量对后续产品的导热性、烧结和成型工艺有着重要影响。氮化铝粉末的合成方法包括直接氮化法、碳热还原法、蔓延高温合成法以及化学气相沉积法等多种方法。
二、氮化铝的成型与烧结
氮化铝粉末的成型工艺多样,包括适用成型、热压、静压等传统方法。其中,热压和等静压适用于制备高性能块体氮化铝陶瓷材料,但这些方法成本较高、生产效率低,难以满足电子行业对氮化铝陶瓷基板的需求增长。近年来,流延成型法被广泛应用于氮化铝陶瓷基板的制备。
氮化铝的烧结工艺尤为关键,其烧结温度常在1800℃以上。为了实现致密烧结、降低杂质和晶界相含量、简化工艺并降低成本,需要选择合适的烧结工艺和气氛,并选用合适的烧结助剂。常见的烧结工艺包括热压烧结、无压烧结、微波烧结、火花等离子烧结以及自蔓延烧结等。
在烧结过程中,烧结气氛的选择也是至关重要的。目前常用的烧结气氛包括中性气氛、还原热气氛和弱还原气氛。烧结助剂的添加也对产品性能有着重要影响。
用于烧结氮化铝陶瓷基板的常见烧结助剂包括Y2O3、Cao、Yb2O3等多种氧化物或它们的混合物。选择多种复合烧结助剂往往能获得比单一助剂更好的烧结效果,有助于实现AlN的低温烧结、降低能耗并便于连续生产。这部分研发工作的投入也会体现在最终产品的价格上。
氮化铝陶瓷基板虽然具有诸多优势,但其高昂的成本以及生产过程中的种种挑战仍需克服。在未来的发展中,通过不断优化生产工艺、降低生产成本并提高生产效率,有望推动氮化铝陶瓷基板在各领域的应用更加广泛。