纯水处理系统操作及维护管理规范

第一章 目的

为确保公司半导体生产过程中纯水处理系统的正常运行，特制定此操作与维护程序。

第二章 范围

本规范适用于XXX半导体有限公司所有厂务部的纯水系统及其相关设备，从车间纯水供应接口至废水排放到厂外废水处理厂。

第三章 术语与定义

3.1 纯水（ULTRA PURE WATER）或称DI Water：指用于WAFER清洗的纯度要求极高的清洗用水。

第四章 职责与权限

4.1 厂务部主管负责纯水系统的有效供应。

4.2 厂务部工程师负责设备的维护、抄表记录以及紧急情况下的现场处理。

第五章 流程图

第六章 内容

6.1 系统抄表

详细记录纯水系统的运行状态，包括设备运转情况、运行参数以及异常状况等。

抄表频率为：白班每10:00和16:00各一次，夜班每22:00和次日凌晨4:00各一次，特殊情况下可调整抄表时间。

抄表结束后，相关人员需在记录表上签名，最后由系统工程师进行审核确认。

6.2 设备维护保养

详细说明纯水系统中所有水泵、电机等转动设备的维护保养范围、频率及保养结束后的签名确认流程。

还需对纯水系统、废水系统、回收水系统、PCW系统中的所有在线仪表进行维护保养，保养频率及流程同上。

对纯水系统所有动力及低压配电盘柜进行维护保养，保养内容、频率及签名确认流程亦同上。

对于系统运转过程中需要定期更换的备件，如纯水系统离子交换树脂、活性碳过滤器滤材、超滤膜等，需参照相关操作规程进行更换。

6.3 异常警示与处理

系统警报分为状态消息警报和异常警报两类。

状态消息警报：当系统状态发生变化时，如桶液位过高或过低，系统会发出警报，但不影响系统运转，仅在面板上显示讯息灯号。

异常警报：当系统发生异常状态时，如泵和变频器发生异常或过载，系统会停机并发出警报，在面板上显示发生何种异常状态。

警报处理：当发生警报时，应先按下【静音】钮消除声响，然后根据面板灯号指示查明原因，排除异常后按下【异常重置】按钮恢复运转。

对于“变频器异常”，应先查看变频器上LED显示器上的信息，根据提示排除故障后，再按下变频器的【RESET】钮。

6.4 异常处理流程

当纯水设备出现任何导致系统不能正常运转的异常时，应按照既定的流程进行处理。

第七章 相关文件

本系统中未涉及相关文件。

第八章 相关表单

8.1 XZ-W-FAC-001-01 纯水系统设备运行记录表

8.2 XZ-W-FAC-001-02 纯水系统设备保养记录表

8.3 XZ-W-FAC-001-03 自来水用量记录表（如有需要）

第九章 附件

本规范未涉及其他附件。