半导体生产车间，通常也被称为洁净生产室或无尘工作区，它对半导造的重要性不言而喻。在半导程中，每一环节都对环境有着极为严格的要求，旨在保证产品质量不受任何微小因素的干扰。
一、纯净无尘的环境
在所有环境中，无尘环境无疑是半导体车间最基础且至关重要的条件。由于半导体芯片制造涉及亚微米甚至纳米级别的精细工艺，任何微小的尘埃都可能对其制造过程造成影响。
车间必须采取专门的过滤系统，以严格地控制空气中的粉尘、微生物等微粒物质，确保其数量维持在极低水平。根据ISO 14644-1标准，最高级别的洁净室中每立方米空气中的粒径大于0.1微米的微粒数量应少于10个。
二、精准的度管理
温度和湿度的控制同样是半导体生产的关键环节。半导体的制造过程中涉及众多化学反应及物理过程，这些反应和过程对温度和湿度的变化非常敏感。
过高的温度或过低的湿度都可能导致生产过程的不稳定，进而影响产品的质量和性能。车间的温度通常需维持在22℃左右，波动不超过±2℃，而相对湿度则需控制在45%至55%之间。
三、严密应对化学污染
在半导程中，众多敏感的化学反应及蚀刻过程需在无有害化学物质的环境中进行。
车间需装备有效的空气净化系统，以排除如氨、酸、碱、硫化物等可能干扰制程的化学污染物。对于挥发性有机化合物（VOCs）和气态酸等物质，还需采用活性炭过滤器或其他空气净化设备进行处理。
四、静电的精确控制
静电问题在半导体车间中不容忽视。静电的产生和放电可能会对半导体设备造成，同时也可能吸附粉尘，影响车间的洁净度。
为此，车间内会采取一系列措施来控制静电的产生，如使用防静电地板、防静电工作服以及离子风扇等设备。通过控制车间湿度也是预防静电的一种有效手段。
五、振动与噪音的严格控制
在半导程中，如光刻、刻蚀等过程对振动和噪音的敏感度极高。
过高的振动和噪音可能会影响设备的精度，进而影响产品质量。车间的地板需具备防震功能，设备则需有良好的隔音设计。车间的环境控制系统还需对振动和噪音进行适当的控制。
半导体车间的环境要求严格且复杂，涵盖了无尘、度控制、化学污染控制、静电控制以及振动和噪音控制等多个方面。这些严格的控制措施都是为了确保半导程的稳定性和产品的高质量。它们体现了半导体生产对细节的极致追求，同时也展现了科技进步对人类生活品质提升的巨大贡献。